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碳化硅定向如何提高多线切割机的切割效率

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碳化硅定向如何提高多线切割机的切割效率

发布日期:2019-07-23 00:00 来源:http://www.ddxdf.com 点击:

为了提高多线切割机的切割效率,多线切割机分段切割碳化硅晶体的方法,该方法是根据所切割过程中晶体柱截面不同位置对应的切割长度的不同,变化切割速度,将工作台的勻速进给切割改为连续、分段不同速度进给,从而保证切割质量的前提下提高了切割效率。

鉴于现有技术存在的上述问题,对于单个碳化硅晶锭的长度小于多线切割机的切割长度而造成的切割能力和时间的浪费问题,通过将多个晶锭拼接的方式以使其满足切割机的切割长度,可能可以提高切割效率,同时通过改善切割工艺参数保证拼接后的晶锭定向,满足定向切割的要求。

鉴于上述认识,提供一种碳化硅定向的切割方法,所述切割方法至少包括对多个碳化硅晶锭进行整形处理并滚圆至所需尺寸的预处理工序;以及将多个所得碳化硅晶锭依次粘接成一个整体后同时进行切割的切割工序。

将多个碳化硅晶锭粘接成一个整体,使碳化硅晶锭的总长度增加,然后再进行切割,从而保证了被切割的碳化硅晶锭的长度满足多线切割机的切割长度,而且能将多个晶锭同时切割出多个晶片,提高了切割效率。

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