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半导体籽晶X射线定向仪

半导体籽晶X射线定向仪

  • 所属分类:半导体级硅单晶定向设备

  • 点击次数:
  • 发布日期:2015/11/10
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详细介绍

半导体籽晶X射线定向仪

DX-7型半导体籽晶X射线定向仪

功能:此型仪器主要用于硅单晶籽晶定向,也可用于其它半导体材料的籽晶定向。

特点:此仪器为双侧工作台,右侧工作台用于对拟加工成籽晶的硅单晶锭的端面定向,然后在内圆切割机上切成籽晶条;左侧工作台用于对上述籽晶条进行定向。

技术参数:

项目

参     

输入电源

单相交流220V,50Hz,0.3KW.

最大管电压

30kV

管电流

0-5mA连续可调

接收器

盖革计数器,工作电压最高为DC1050V

X射线管

铜靶,风扇冷却,阳极接地。

测定角度

2θ=-10~120°,θ=-5~60°。

综合精度

±30″(用标准石英片10ī1面测量)

最小读数

1

被测晶体尺寸

用于测定直径为0.5-8英寸,≤30KG的硅单晶(锭)。

外形尺寸

1290(长)x772(宽)x1300(高)mm

仪器重量

300kg

 


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