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DXM-EST多点测量

DXM-EST多点测量

  • 所属分类:智能型检测仪
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  • 发布时间:2023-08-24 16:56:07
  • 产品概述

设备信息

用于晶片自动检测,适用于2-6英寸晶片,主要针对晶片精准的多点测量,准确的测量出晶体在生长过程中,内部晶格的变化量,为晶体生长的一致性给出指导性数据。设备精度为±30”,小读数1”(精度可根据要求升级)


适用晶体

压电晶体碳化硅砷化镓磷化铟等III-V族化合物


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