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设备信息
该仪器专用于大尺寸晶棒Notch精准自动测量,包含Notch晶向角度、开口角度、开口深度等。以晶棒的柱面为定位基准,避免了晶棒端面与柱面垂直度偏差较大所导致的测量误差。
配有一键操作软件,可实现自动精准定向及作业,避免人力操作误差。
适用晶体:硅单晶